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| 品牌 | Micro-Hybrid | 應用領域 | 綜合 |
|---|
描述
六氟化硫在許多應用中仍是必須的，作為一種示蹤、保護或絕緣氣體。由于SF6的高溫室效應，對氣體的負責任處理變得更加重要。MicroFLOW SF6.100 Vol.-%傳感器適用于需要精確和可靠的廣泛應用領域。
應用領域
工業：SF6用于等離子蝕刻工藝，在半導體材料如硅、二氧化硅和其他化合物上創建精確圖案。該氣體被用在特殊的蝕刻室中，通過施加高頻能量轉化為等離子體。這個等離子體然后選擇性地與材料反應，使得在一個非常受控和準確的過程中精確地雕刻或移除材料。
在鋁的生產中，六氟化硫被用作示蹤氣體，以提高生產效率并盡早檢測潛在問題。它還用于監測最終產品的質量和一致性。
能源技術：在電力供應領域，SF6被用作高壓開關設備和變壓器中的絕緣氣體和冷卻介質。測量六氟化硫對于早期識別泄漏以及監測系統狀況非常重要。
測量精度
我們的NDIR氣體傳感器在測量和監測六氟化硫時能夠獲得精確的結果。通過10點線性化，在整個測量范圍內，測量的氣體濃度的最大偏差小于1%。
傳感器可靠地檢測最小氣體濃度，以識別氣體混合物中的最微小變化。您可以自由選擇應用程序的測量范圍，例如從整個0到100 vol.-%的測量范圍中的90 vol.-%。
由µP.sens壓力傳感器在樣品池塊中補償任何因壓力波動或氣壓變化引起的偏差（< 0.1 % / 10 hPa），消除了潛在的泄漏或測量值的偽造。通過將壓力傳感器集成到樣品池塊中，與類似傳感器相比，模塊的整體空間需求減少了。
每個傳感器都確保了溫度補償。每個模塊的測試和校準在氣候室中進行，使用特定濃度的測試氣體在測量過程中記錄和調整誤差曲線。測試和校準在5至45攝氏度的傳感器操作范圍內進行，包括零點和跨度點，以及傳感器操作范圍內的其他典型溫度。最大偏差每10K小于1%。
功能范圍
RS232和CAN-Bus數字接口是行業標準配置。使用可選配件和MARSlight軟件為您的配置選擇一個接口。遵循軟件手冊中的說明。
樣品池針對測量高達100%體積比的六氟化硫進行了優化。
與常規傳感器相比，我們的傳感器允許在300 - 1200 hPa的寬壓力范圍內進行測量。例如，傳感器適合更高地理位置或需要負壓測量的系統。
使用壽命
陽極氧化鋁氣體連接塊確保在惡劣環境條件下的長壽命和可靠性。不銹鋼氣體連接進一步增強了耐用性。
在操作溫度范圍內進行的氣候室測試消除了組件的過早故障。
安裝和操作
免費下載MARS light軟件用于氣體傳感器，立即開始使用您的氣體傳感器。軟件消除了創建自己的軟件的需要，并在初始測試測量上節省時間。傳感器消耗不到1瓦，可以使用電池供電的設備。易于集成，具有9到30伏的寬電壓范圍，使其可以連接到大多數現有系統。
根據具體需求，分析前可能需要對氣體進行預冷或加熱。為了防止樣品池中的潛在氣體凝結效應，可以監測測量系統中的氣體溫度。
我們的模塊化設計使清潔和維護變得簡單，不同于許多同類產品。
有關安裝和操作的詳細信息可以在用戶手冊中找到。
我們的數據表簡要列出了最重要的技術細節。我們將很高興就您個別的問題和要求提供咨詢。
應用
l在高功率應用中的泄漏監測
l絕緣氣體的監測
l絕緣氣體的質量保證
產品優勢
l壓力值和氣壓變化的最小偏差（< 0.1% / 10 hPa）
l工業上常用的接口可用
l由于高質量材料而維護成本低
l可用于電池供電設備
l可以監測測量系統中的氣體溫度
l維護和清潔輕松完成
特點
l10點線性化
l通過集成壓力傳感器進行壓力補償
l溫度補償
l數字接口RS232/CAN-Bus
l具有高化學抗性的堅固設計
l可測量氣體溫度
l模塊化設計
l對CF4沒有交叉靈敏度
技術參數
技術參數 | 數據 | 單位 |
一般 | ||
訂單編號 | VKM2002985 |
|
測量原理 | NDIR |
|
樣品池長度 | 2 | mm |
紅外光源的估計壽命 | 40 000 | h |
氣體流量 | 0.1 - 3 | l/min |
尺寸 | 88 x 90 x 60 | [mm] |
重量 | 160 | g |
管道連接 | 6/4 mm tube |
|
電源電氣連接類型 | 2-pin, 3.5 mm |
|
通信連接類型 | 3 pol. RS232 / 3 pol. CAN-Bus (2.54 mm) |
|
測量 | ||
測量范圍 | 0 - 100 | Vol.-% |
測量氣體 | 六氟化硫 |
|
預熱時間2 | < 10 | min |
響應時間（t90） | < 5 | s |
檢測限（3σ）3 | < 0.05 | % FS |
數字分辨率 | 0.001 | Vol.-% |
線性度偏差 | < 0.5 | % FS |
可重復性 | < 0.25 | % FS |
長期穩定性（零） | < 0.5 | % FS/ month |
長期穩定性（跨度） | < 1 | % FS/ month |
溫度影響（零） | < 0.05 | % FS/ 10 K |
溫度影響（跨度）4 | < 0.5 | % FS/ 10 K |
位置影響 | < 0.5 | % FS/ 180 ° |
壓力影響 | < 0.15 | % FS/ 10 hPa |
發電 | ||
工作電壓 | 9 ... 30 | V DC |
最大工作電流 | 110 mA @ 9 V, 33 mA @ 30 V |
|
涌流 | 220 | mA |
標稱功耗 | 1 | W |
數字輸出信號 | RS232 or CAN-Bus |
|
輸出格式CAN | MARS/ CAN-Bus |
|
輸出格式RS232 | ASCII |
|
CAN最大數據速率 | 10 | ms |
RS232最大數據速率 | 100 | ms |
氣候條件 | ||
工作溫度 | 5 ... 45 | °C |
儲存溫度 | -20 ... 60 | °C |
空氣壓力 | 300 - 1 200 | hPA |
環境濕度 | 0 ... 95%相對濕度（不凝結） | hPA |
1. 零點氣體測量：氮氣；相關條件為Pa = 1020 hPa；Ta = 25°C；流量 = 1 l/min。
2. 完整規格，取決于環境條件。
3. 在零點處。
4. 具有量程溫度補償。
5. 建議在穩定的氣候條件下使用，請檢查露點注意事項。
機械制圖
俯視圖
前視圖
側視圖
產品概述
型號 | 產品名稱 | 數字輸出信號 | 測量范圍 |
VKM2002977 | MicroFLOW CO2 . 5 000 ppm | CAN-Bus or RS232 | 0 ... 5 000 ppm |
VKM2002978 | MicroFLOW CH4 . select 10 Vol.-% | CAN-Bus or RS232 | 0 ... 10 Vol.-% |
VKM2002979 | MicroFLOW CH4 .10 Vol.-% | CAN-Bus or RS232 | 0 ... 10 Vol.-% |
VKM2002980 | MicroFLOW CO . 50 Vol.-% | CAN-Bus or RS232 | 0 ... 50 Vol.-% |
VKM2002981 | MicroFLOW CO2 . 50 Vol.-% | CAN-Bus or RS232 | 0 ... 50 Vol.-% |
VKM2002985 | MicroFLOW SF6 .100 Vol.-% | CAN-Bus or RS232 | 0 ... 100 Vol.-% |
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